P03多点手动测试台

该测试台适用于石英晶片大片的手动频率测量,设备配备5个探针作为上电极,可以一次测量5点的频率,并计算平均值和极差执行OK/NG判定。该设备适用于切割后&研磨后大片的多点频率评估,也适用于IPQC检验。

晶片放置后,一键执行测量,数据可导出为Excel报表,或定制上传ERP/MES功能。